不忘初心(一等奖)

作者: 2018-08-30 来源:
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作者信息:
中国科学院微电子研究所-不忘初心-黄森-20161220

图片描述:本作品显示的是氮化镓表面形貌经过高温等离子体刻蚀的前后对比(左图为新鲜表面,右图为刻蚀后的表面)。新鲜GaN表面可以看到清晰的原子台阶,经过高温等离子体刻蚀工艺后原子台阶依然脉络可见,就像美国亚利桑那州的波浪谷(The Wave)在大自然经年累月的风化下依然保持本色。这也告诉我们科研的道路崎岖坎坷,但贵在不忘初心。

实验方法:左图GaN外延是通过金属有机物化学气相沉积制备,显示清晰的原子台阶。外延片经图形化后,采用氯基电感耦合等离子体高温刻蚀形成了右图所示的被蚀刻的波浪形貌。

取样仪器名称型号:德国Park原子力显微镜系统

图片处理软件名称:Park XEI softwarePhotoshop CS3 Extended

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