微纳器件制造技术团队

微电子研究所微纳器件制造技术团队组建始于上世纪70年代，老中青三代团队成员全程参与了我国近20个集成电路加工技术代攻关历程。近10多年来，在02专项、国家重点研发计划、国家自然科学基金、中国科学院重大装备等项目课题持续资助下，构建了多元化衬基、多功能、纳米精度和大面积的微纳器件制造成套技术体系，国际上首次实验证实自由空间涡旋嬗变规则，20多款微纳器件应用于我国系列重大工程。

近10多年来，向国内外高等院校、科研机构和高新企业共计1000多家客户交付了6万多块元器件，为国产高端装备研发与验证提供了实验平台和工艺解决方案。获国家技术发明奖二等奖2项，省部级奖5项。授权国际及国内专利116项，主要专利和技术许可/转移到国内集成电路龙头企业，培养硕士博士29名。

站在新的发展阶段与征程的起点上，微电子研究所微纳器件制造技术团队将矢志不渝地秉承“惟精惟一、求是求新”的工作作风，深入诠释新时代微纳加工工匠精神的内涵，持之以恒地支撑我国系列重大工程的顺利实施，为我国抢占微纳器件科技制高点做出持久、系统且不可替代的贡献。